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Ich schätze die offene Gesprächsatmosphäre bei allen Diskussionen sehr, angefangen von der ersten Präsentation bis hin zu den Nachrüstungsmöglichkeiten durchgehend bis zum Projektabschluss.
Ich bin sehr froh, dass EUMETRYS die Nachrüstung des IVS 200-Systems mit mehreren tausend Messvorschriften übernommen hat. In unserem Fall konnte die Nachrüstung mit einer Erfolgsquote von 98 % umgesetzt werden.
EUMETRYS hat außerdem den Abgleich zwischen den alten und neuen Geräten durchgeführt.
Wir konnten den Austausch vornehmen und gleichzeitig die Produktion – ohne nennenswerte Unterbrechungen – weiterlaufen lassen.
Mir ist nicht bekannt, dass andere Overlay-Geräteanbieter eine derartige Leistung anbieten.

Björn Hildebrandt
Leitender Ingenieur Lithographieverfahren
X-FAB Semiconductor Foundries GmbH

Ich möchte gern von meinen Erfahrungen zur Zusammenarbeit mit EUMETRYS berichten. Derzeit haben wir ein Gerät in unserer 200 mm MEMS-Fertigungslinie installiert. Es wird für optische Online CD- und Overlay-Messungen verwendet. Dank der Reaktionsschnelligkeit und Effizienz des Unternehmens bei Wartung und Support, und durch den kontinuierlichen Schulungsservice, können wir das Gerät unter optimalen Betriebsbedingungen nutzen.

Durch die Möglichkeit, individuelle Messvorschriften entwickeln zu können, erhalten wir die notwendige Flexibilität, um eine FuE-Umgebung, z. B. CEA-LETI, schaffen zu können.

Olivier Faynot
Manager Strukturerzeugung (Patterning) von Silicon Technologies Department
CEA Leti

Ich schätze die Zusammenarbeit mit EUMETRYS als Serviceanbieter für unser INSPECTROLOGY IVS-Messsystem sehr.

Das Messgerät spielt bei der Qualifizierung von Canon Stepper-Geräten und zur täglichen Nachverfolgung des Lithographieverfahrens eine entscheidende Rolle.

Die Messtechnik hat ABB in Lenzburg dabei unterstützt, die Leistung zu steigern. Dank des besonders reaktionsschnellen Teams der Kundenbetreuung von EUMETRYS konnten die IVS-Geräte eine Betriebszeit von über 98 % erreichen, sodass der mittlere Ausfallabstand nur 1800 h betrug. Das ist Effizienz!  

• Dateilink: Zertifizierung von ABB (PDF - 524 Ko)

Manfred Kraxenberger
Leiter der Waferherstellung
ABB Lenzburg

Die Messgenauigkeit betrug stets ca. 100 nm.

Da unsere Produkte empfindlich auf Änderungen bis zu 30 nm reagieren,

konnte mit dem IVS-Messgerät eine stabilere Leistung erreicht werden und wir waren gleichzeitig in der Lage, unsere Produktionskapazitäten zu steigern.

Gudrun Thrastardottir M. Sc.
Leitende Verfahrensingenieurin
ACCELINK Denmark