Einfache Handhabung der optischen IVS-Systeme für kritische Abmessungen (CD) und Overlay-Messungen.

EUMETRYS (kurz für: EUropeanMETRologysYStem) ist ein Dienstleistungsunternehmen, dass über jahrelange Erfahrungen in der optischen Messtechnik verfügt. Wir haben uns auf den Support von automatischen, optischen Messsystemen für die Halbleiter-, Verbindungshalbleiter (GaAs, GaN, SiC, InP)-, mikroelektromechanischen Systeme (MEMS)-, und Leuchtdioden (LED)-Industrie in Europa spezialisiert.
 
Zu unseren Kernkompetenzen zählen der Vertrieb von kompletten optischen Messsystemen und deren Ersatzteile. Zudem bieten wir Wartungs- und Applikationsservice für Messsysteme an, sowie spezifische Kundenschulungen für die Prozesse und Wartungen der Systeme in der Produktion.

EUMETRYS ist der offizielle OEM-Vertreter für den Vertrieb und Support der IVS-Produktlinie von ONTO Innovation in Europa.

EUMETRYS bietet nun das neue, automatisierte optische IVS 220-Messsystem mit einem hohen Durchsatz an, dass sich an der Spitzenposition der Messtechnik etabliert.

Das neue IVS 220-Modell bietet die besten Gesamtbetriebskosten für die fortschrittlichsten, technologischen Messmöglichkeiten für Produktionsbetriebe bis hin zu 200 mm Wafergröße. Mit einer gesteigerten Durchsatzrate (TPUT) von 165 Wafern pro Stunde, einer Messgenauigkeit von unter 1 nm bei einer Standardabweichung von 3 Sigma und 1 nm TIS, ist das IVS 220-System so konzipiert, dass es den modernsten Messtechnikanforderungen von heute gerecht wird.
 
Dieses Image-Base-Overlay-System (IBO) kann kritische Abmessungen (CD = Critical Dimension), Overlay, Nonien, Durchmesser, Höhen und sogar Böschungen messen. Es ist sowohl für fortschrittliche Technologien bis zu 65 nm für die Halbleiterfertigung als auch für die flexiblen Anforderungen der Verbindungshalbleiterfertigung mit verschiedenen Substrattypen, wie z.B. SiC, GaN und GaAs, ausgelegt.
 
Das neue IVS 220-Modell nutzt die Grundlagen des technischen Könnens des IVS 200-Systems, um die vielfältigen Kundenanforderungen eines bewährten und zuverlässigen Systems zu gewähr-leisten. Darüber hinaus ist mit neuen hochtechnologischen Hardwareteilen, wie der ETEL-Stufe, aufgerüstet worden, um das System an seine Grenzen hinsichtlich Geschwindigkeit und Genauigkeit zu bringen.

Mit dem IVS 220-Modell unterstützen ONTO Innovation und EUMETRYS die Industrien und ihre immer strenger werdenden Prozessanforderungen.

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EUMETRYS vertreibt ein flexibles handhabbares, automatisches optisches Messsystem für die Halbleiter-, MEMS-, LED-, Energie- und Photonik-Industrie.

Das optische Messgerät IVS 220 ist speziell für die Messung von fotolithografischen Überdeckungs-genauigkeit von Strukturen (Overlay-Messungen) und für kritische Abmessungen bzw. für die Messung der kritischen Linienbreiten (Critical Dimension oder Line Width) konzipiert.
 
Das Messgerät ist so konzipiert, dass es für verschiedene Substratgrößen und -typen von 3- bis 8 Zoll ohne jegliche Hardwareveränderung verwendet werden kann. Zudem kann es sowohl transparente Substrate als auch gebondete Siliziumwafer messen.
 
Die Mitarbeiter von EUMETRYS verfügen über langjährige Erfahrung in der Halbleiterbranche. Wir liefern unseren Kunden kostengünstige Lösungen in Bezug auf MTBF und Betriebszeiten. Wir arbeiten mit vielen Unternehmen zusammen, die über ein „Einzelpfad“-Messsystem verfügen. Um eine Kundenzufriedenheit zu gewährleisten, reagieren wir schnell auf deren Kontaktierungen, um Reparaturzeiten zu minimieren.

EUMETRYS vertritt ONTO Innovation mit der IVS-Produktlinie in Europa. Wir vertreiben das neue IVS 220-Modell mit den besten Betriebskosten für den Markt von 200 mm und dünneren Substraten.
 

Wir verkaufen gebrauchte Geräte preisgünstig ohne Einschränkungen: Eine Garantie wird übernommen und die Spezifikationen werden garantiert

Je nach Kundenbedarf und Kostengründen schlagen wir gebrauchte System ohne Vorbehalt vor. Eine Garantie und die Spezifikationen werden mit den besten Betriebskosten (Cost of Ownership (COO)) des Marktes für das IVS 200-System garantiert.
 
Ebenso wie ONTO Innovation sind wir der Auffassung, dass alle Kundenanforderungen auch mit einer kostengünstigen Lösung abgedeckt werden können. Daher haben wir uns entschieden, gebrauchte Geräte anzubieten, die von unserer Serviceabteilung umfassend wiederaufbereitet wurden.

An unserem Fertigungsstandort wird das Fachwissen unserer Mitarbeiter eingesetzt, um die Vorgängermodelle der letzten Jahre wiederaufzubereiten und diese auf die neueste und beste Hardware- und Softwarelösung des IVS 200-Systems aufzurüsten.

Die wiederaufbereiteten Systeme werden nach den garantierten Originalspezifikationen und deren Zulassung mit einer Schulung und einer 12-monatigen Garantie angeboten. Sie werden durch unsere Dienstleistungen und technischen Support in ihrem Betrieb in vollem Umfang unterstützt.

Das IVS 200-Modell überzeugt durch seine fortschrittliche Leistung bei niedrigsten Betriebskosten, unterstützt durch eine Semi-Standard-Benutzeroberfläche (WIN 10 OS GUI). Zudem bietet dieses Modell mehr als nur klassische automatisierte CD- und Overlay-Messungen. Es bietet eine große Anzahl an Messalgorithmen, die die Messung verschiedener Strukturen für Halbleiter, Verbindungshalbleiter, MEMS und LEDs ermöglicht. Es ist in der Telekommunikations-, Energie- und Photonik-Industrie weit verbreitet.
 
Es ermöglicht dem Benutzer beispielweise die Messung von Overlay, CD und VIAs innerhalb desselben Rezeptes. Das System ermöglicht auch die Verwendung eines neuen CD-Algorithmus mit verschiedenen Ausrichtungen der Linien.

Dieses IVS 200-Modell ermöglicht eine große Flexibilität bei der Messung, so dass es sowohl für Halbleiter als auch Verbindungshalbleiter eingesetzt werden kann, wenn Wirtschaftlichkeit der ausschlaggebende Faktor für ihre Produktion ist.

Sie möchten eine Informationsbroschüre (PDF-Datei) zu dem wiederaufbereiteten System? Dann senden Sie uns bitte eine Anfrage.
 

Flexible Handhabung der IVS-Systeme: von 75 bis 200 mm ohne Modifikation

 

Verfügbares Upgrade auf IVS 200-System

Alle IVS-Vorgängermodelle können auf die aktuelle IVS 200-Software nach dem neuen SEMI-Standard WIN10 GUI und mit verbesserten Leistungsmöglichkeiten aufgerüstet werden.
 
Somit profitieren alle Vorgängermodelle der 1XX-Reihe von einer gesteigerten Genauigkeit von 20%, einer gesteigerten Durchsatzrate (TPUT) von 30% und zeichnen sich durch ihre volle Funktionsfähigkeit aus.

Wir bieten ihnen an, ein Vorgängermodell der 1XX-Reihe sofort gegen ein gebrauchtes, wiederaufbereitetes IVS 200-System einzutauschen. Die Garantie gilt nur für die ausgetauschten Ersatzteile und die neue Software.

Für Unterlagen zu nachgerüsteten Produkten (PDF-Datei), senden sie uns bitte eine Anfrage